随着水污染越发严重和工业生产精度的提高，工业用水对水质标准也越来越严格，客户对工业用水的名称或概念繁多，其中纯水、高纯水、超纯水经常被提及。那么纯水、高纯水和超纯水有哪些区别呢?

       纯水、高纯水和超纯水都是利用自来水、地表水或地下水等为水源，经过预处理后，通过电渗析法（ED）、离子交换器法、反渗透法（RO）、电去离子法（EDI）等方法脱盐后，再联合紫外线杀菌器、脱气膜等设备进一步精处理，他们最主要的区别是水中含有的电导率（电阻率）、颗粒、TOC、细菌、溶解氧等水质指标，水中杂质如果吸附或残留在产品表面，会导致产品特性变差。如果以电阻率做为参考值来划分，纯水电阻率一般要求小于0.5MΩ.cm，高纯水电阻率一般要求10-17MΩ.cm，超纯水电阻率一般要求大于18MΩ.cm，其他数据可参考《ASTM D5127-07 表1：适用于电子及半导体工业的水质要求》；如果以用途来划分，纯水一般用于普通电子工业（如线路板、电镀等行业）、化工、铅酸电池等行业，高纯水一般用于玻璃、小尺寸液晶屏、光学、半导体封装测试等对用水水质有一定要求的行业，超纯水一般用于光伏、半导体晶圆（芯片）、锂电池等对水质要求较高的行业。