功能水是近年正在迅猛发展的新技术，即在超纯水中溶入少许药剂或气体而使其洗净效果大为提高的水，例如在超纯水中溶入适量的氢气和臭氧。
 
       一、氢气
       在超纯水中加入适量氢气，使其电阻率控制在14MΩ/cm，这种水用于硅材料的切、磨可避免静电问题。

       二、臭氧
       为了确保超纯水供水管网末梢在使用过程中细菌和TOC指标不超过相关要求，可在超纯水供水管网中添加臭氧来控制细菌和TOC指标。同时超纯水中少量的臭氧可以提高水的洗净效果。
       需要注意的是，由于臭氧在超纯水中分解速度较慢，半衰期为20~50分钟。回水中残存的臭氧如果进入超纯水系统会对树脂起氧化破坏作用，使树脂发生交联结构降解、体积膨胀、交换容量降低、颗粒破裂等现象，因此应当采用254nm的紫外线以催化分解的方式将回水中残存的臭氧去除掉，一般消除1mg/L臭氧残留所需的紫外线照射量为90000μw.s/cm2。